北京大学微电子学系

北京大学下设学系

北京大学微电子学系是北京大学的二级学科。

师资队伍

北京大学微电子学系广纳贤才，海纳百川，一大批有志于发展我国微电子产业的优秀学者汇集于此，形成了以王阳元院士为首的老中青相结合的学术骨干队伍。近几年来年轻学术骨干迅速成长，有博导20名；教授、研究员、正高工26名；副教授、副研究员、高工27名；讲师7名；工程师、实验师等14名，教师队伍中具有博士学位的年轻教师已经成为教师队伍的主流，他们担当教学科研的重任，成为微电子学系能够持续发展的可靠保证。

王阳元院士

??1958 年毕业于北京大学物理系，获学士学位； 1958 年至今在北京大学工作，曾任北京大学微电子学研究院院长，微电子学系主任；现任北京大学微电子学研究院首席科学家， 1995 年当选为中国科学院信息科学技术学部院士。现为北京大学信息科学技术学院教授（ 1985 年）。现有 20 项重大科技成果。获全国科学大会奖、国家发明二、三等奖、国家教委科技进步一等奖、光华科技基金一等奖等共 19 项国家级和部委级奖励。兼中国电子学会副理事长，《半导体学报》和《电子学报》（英文版）副主编，《微电子学科学丛书》主编。信息产业部科技委委员 (电子) ，美国 IEEE Fellow 和英国 IEE Fellow 等。

设施设备

北京大学微电子学系具有良好的人才培养与科学研究的先进设施。拥有三个国家或部门重点实验室，实验室水平达到国内领先，与国际先进水平同步。

微米/纳米加工技术国家级重点实验室

建设宗旨：进行微电子机械系统（MEMS）加工技术的研究；与其它单位开展MEMS技术合作和应用研究；为国内外重大MEMS技术研究项目提供微加工技术服务；开展MEMS技术的产业化研究工作。实验室的目标是建设世界一流的MEMS加工技术研究环境，为国内外产业及研究机构服务。??在以硅工艺为基础的MEMS加工技术研究方面，实验室首次在国内引进了英国STS公司生产的高深宽比硅刻蚀的ICP ASE、高密度等离子刻蚀系统高深宽比氧化硅刻蚀系统ICP AOE、高密度等离子金属刻蚀系统ICP METAL ETCHING和低应力薄膜等离子增强化学汽相淀积系统STS PECVD，德国KARL SUSS公司生产的可双面光刻、键合对准系统MA/BA6、静电及热键合系统SB6，还有ASM 公司的LB35低压化学汽相淀积系统。这些世界一流的MEMS工艺研究设备使我国在硅MEMS技术研究方面有了与国际先进水平对话的“共同语言”。

??重点实验室与美国ADI公司、得尔福（Delphi）公司、康奈尔大学、新加坡材料研究所、中国工程物理研究院、清华大学、华北工学院等数十个单位建立了合作关系。

新工艺新器件新结构集成电路重点实验室

研究方向：深亚微米CMOS集成电路技术研究，硅基超高速双极集成电路技术研究，CMOS/SOI电路技术研究，新结构、新器件研究，小尺寸器件物理及其可靠性研究。实验室具有深亚微米、4英寸CMOS、超高速双极电路和CMOS/SOI电路研制能力，超高速电路、小尺寸器件和薄膜分析测试能力，具有年培养本科生40名、硕士生10-16名、博士生8-10名、博士后4-6名的能力。实验室拥有对于微电子研究具有关键意义的溅射系统，分步投影光刻机、中束流离子注入机、快速热处理设备、反应离子刻蚀机等设备。实验室是由工艺研究技术单元、CAE技术单元、测试分析技术单元构成的。

软硬件协同设计实验室

软硬件协同设计实验室是在创建世界一流大学的过程中，由教育振兴行动计划大力支持建立起来的新型实验室，其前身是北京市软件固化高科技实验室。??软硬件协同设计实验室是系统集成芯片（SOC）研究方向的主要支撑环境，它为该研究方向科研任务的组织实施、人才培养、学科发展等提供了必不可少的软硬件条件，它对电子信息学科开放，由微电子学系组织建设和管理。

??软硬件协同设计实验室(Hardware -Software Co Desogn Lab)与多目标芯片设计(Multi Project Wafer- MPW) 教学实验室做到资源共享，装备有SUN公司的E-450服务器2台、Ultra 60/10工作站66台等硬件设备、配备有Cadence、Avant！等EDA公司的EDA软件，可以提供从系统直到物理版图设计的全套软件，为SOC设计提供了可靠的技术平台，与EDA厂商保持着良好的合作关系，是国内大学中装备最好的EDA实验室之一。

人才培养

北京大学微电子学系在我国著名的微电子学家王阳元院士的领导下，为我国微电子产业培养了一大批优秀人才，已经成为我国培养高水平微电子人才的一个重要基地，是国家和学校大力支持和发展的重点学科。微电子学系设有完备的人才培养体系，本科生教育设有微电子学专业，硕士生教育设有微电子学与固体电子学专业、集成电路工程专业，博士生教育设有微电子学与固体电子学专业、电路与系统专业，还设有博士后流动站，每年招收大批优秀学子前来求学，施展才华，探求微电子学的新进展。

科研机制

北京大学微电子学系与北京大学微电子学研究院（所）在管理体制上实行一个实体两块牌子。下设三个研究所和两个实验室：ULSI新器件及集成技术研究所，系统芯片（SOC-System On Chip）研究所，微电子机械系统（MEMS-Micro -Electro- Mechanical System）研究所，IC CAE 实验室，工艺实验室。科学研究在基础研究、关键技术、应用开发三个层面上展开，已经取得了一系列具有国际先进水平的科研成果。

合作交流

北京大学微电子学系开展广泛的国际、国内合作与技术交流，通过国际学术交流与技术合作，聘请一批国际著名学者作为兼职教授或客座教授，保证教学科研工作能够与世界先进水平同步。北京大学微电子学研究所在国际微电子界已享有一定的声誉。

??北京大学还与国内外产业界建立了密切联系与合作关系，与AD、Motorola、富士通、中芯国际微电子制造有限公司、北大青鸟集团公司等建立联合实验室和合作研究项目，及时将科技成果转化为生产力。

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