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激光调阻机

仪器设备

‌激光调阻机‌是一种利用激光束对电阻进行精确调整的设备。激光调阻原理就是利用一束极细的激光束打在厚、薄膜电阻上，通过对电阻体气化蒸发实现厚、薄膜电路的切割。激光束按计算机预定的程序切割厚、薄膜电阻，通过改变厚、薄膜电阻的几何形状从而改变电阻的阻值。随着激光切割过程的进行，同时实时测量电路实时监视厚、薄膜电阻阻值的变化，厚、薄膜电阻的阻值不断接近目标阻值，当厚、薄膜电阻达到目标阻值后激光束关闭，即实现激光调阻过程。

技术参数
激光器系统
l 激光类型：半导体端面泵浦激光器 / 光纤激光器
l 激光波长：1064/532/355nm
l 激光平均功率：10W / 20W / 7W(UV355)
l 激光频率：200Hz-50KHz
l 典型光斑尺寸：30µm
实际切口取决于材料、光学器件和波长；可根据需要选配532绿激光或355紫外激光最小光斑达12µm
l 泵浦源使用寿命：20,000—100，000小时
l 冷却方式：风冷
l 对焦方式：计算机程序控制
定位系统
l 激光束运动范围：75mmX75mm（可选配其他规格）
l 点到点运动时间：5ms（典型）
l 最大速度：7000mm/s
l 重复定位精度：2.5µm
l 激光束最小步进：0.76µm
图像监视系统
l 监视方式：激光同轴监视
l 最大放大倍数：>100倍
l 图像监视显示屏：19寸液晶
测量系统
l 激励方式：电流/电压激励
l 恒流源：0.01µA~100mA计算机程控选择
l 恒压源：0~20V计算机程控选择（可选其它电压范围）
l 电阻测量方式：四线制加电流测电压
l 直流电压测量：10mV~10V（满程电压）
l 调节对象发热控制：程序可设定
l 电阻测量精度：低阻：<0.05%+1%/R （R<100Ω）
中阻：<0.05%
高阻：<0.05%+0.02%R（R>0.1MΩ）
l 电阻测量范围：0.01Ω-500MΩ
l 电阻测量速度：25µs
l 直流电压分辨率：0.16µV（在10mV满量程条件下）
l 探针板：44针11组四线制（可选其它规格）
l 探针板运动：计算机程序控制
计算机及软件
l 工业控制计算机（双核），17寸液晶
l 操作系统：Windows XP
l VB平台开发的可视化应用软件，界面友好，功能强大
分步重复运动
l 运动XY范围：290x260mm
l 运动分辨率：1µm
l 定位精度：小于6µm（带误差补偿）
l 重复定位精度：小于3µm
l 最大运动速度：900mm/s
l 具有温度补偿等功能
温度测量
l 温度测量精度：0.2℃
l 调阻温度修正：计算机程序控制
其它技术指标
l 供电电压：220V AC
l 整机功耗：小于1000W
注意事项
产品特点
调阻精度高
l 先进的激光器提供了TEM00高光束质量和极细线宽的激光束
l 四线制高速测量系统，测量时间仅为25us
l 拥有软件预调误差补偿功能
调阻速度快
l 先进的激光器拥有极高的重复频率，在保证光斑重叠率的情况下能拥有很高速度
l 德国进口扫描振镜，扫描速度极快
l 高精度分步重复机构，空气轴承，移动速度及加速度快
可靠性高
l 整机配置核心器件均采用原装进口配置
l 采用花岗岩台座，稳定可靠
功能强大
l 拥有温度实时补偿功能
l 同时具有激光划片和打标功能
成本低廉
l 采用半导体端面泵浦或光纤激光器
l 使用寿命长，性能稳定
l 电光转换效率高，节约用电成本
l 采用风冷系统，无须外置冷却设备
l 操作简单，无须高额培训成本
应用市场
主要应用于厚膜、薄膜电路的精密调节。广泛应用于
l 厚膜混合集成电路
l 电子元器件
l 汽车电器
l 传感器
l 军工科研
l 片式电阻等行业
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