磁栅式传感器
磁栅式传感器( magnetic grating transducer )利用磁栅与磁头的磁作用进行测量的位移传感器。它是一种新型的数字式传感器,成本较低且便于安装和使用。当需要时,可将原来的磁信号(磁栅)抹去,重新录制。还可以安装在机床上后再录制磁信号,这对于消除安装误差和机床本身的几何误差,以及提高测量精度都是十分有利的。并且可以采用激光定位录磁,而不需要采用感光、腐蚀等工艺,因而精度较高,可达±0.01毫米/米,分辨率为1~5微米。
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