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激光修阻机

用于厚膜混合集成电路、电子元器件、汽车电器、传感器、军工科研、片式电阻等行业的设备

激光修阻机是一种用于厚膜混合集成电路、电子元器件、汽车电器、传感器、军工科研、片式电阻等行业的设备。

设备特点
--调阻精度高：先进的激光器提供了TEM00高光束质量和极细线宽的激光束；四线制高速测量系统，测量时间仅为25us；拥有软件预调误差补偿功能；
--调阻速度快：先进的激光器拥有极高的重复频率，在保证光斑重叠率的情况下能拥有很高速度；德国进口扫描振镜，扫描速度极快；高精度分步重复机构，空气轴承，移动速度及加速度快；
--可靠性高：整机配置核心器件均采用原装进口配置；采用花岗岩台座，稳定可靠；
--功能强大：拥有温度实时补偿功能；同时具有激光划片和打标功能；
--运行及维护成本低廉：采用半导体端面泵浦或光纤激光器；使用寿命长，性能稳定；电光转换效率高，节约用电成本；采用风冷系统，无须外置冷却设备；操作简单，无须高额培训成本；
设备参数
--激光器系统：
激光类型：半导体端面泵浦激光器 / 光纤激光器
典型光斑尺寸：30μm
实际切口取决于材料、光学器件和波长；可根据需要选配532绿激光或355紫外激光最小光斑达12μm
泵浦源使用寿命：20,000—100，000小时
冷却方式：风冷
对焦方式：计算机程序控制
--激光束定位系统：
激光束运动范围：75mmX75mm（可选配其他规格）
点到点运动时间：5ms（典型）
最大速度：7000mm/s
重复定位精度：2.5μm
激光束最小步进：0.76μm
--图像监视系统：
监视方式：激光同轴监视
最大放大倍数：>100倍
图像监视显示屏：19寸液晶
--测量系统：
激励方式：电流/电压激励
恒流源：0.01μA~100mA计算机程控选择
恒压源：0~20V计算机程控选择（可选其它电压范围）
电阻测量方式：四线制加电流测电压
直流电压测量：10mV~10V（满程电压）
调节对象发热控制：程序可设定
电阻测量精度：低阻：<0.05%+1%/R （R<100Ω）
中阻：<0.05%
高阻：<0.05%+0.02%R（R>0.1MΩ）
电阻测量范围：0.01Ω-500MΩ
电阻测量速度：25μs
直流电压分辨率：0.16μV（在10mV满量程条件下）
探针板：44针11组四线制（可选其它规格）
探针板运动：计算机程序控制
--计算机及软件系统：
工业控制计算机（双核），17寸液晶
操作系统：Windows XP
VB平台开发的可视化应用软件，界面友好，功能强大
--分步重复运动系统：
运动XY范围：290x260mm
运动分辨率：1μm
定位精度：小于6μm（带误差补偿）
重复定位精度：小于3μm
最大运动速度：900mm/s
具有温度补偿等功能
--非接触温度测量：
温度测量精度：0.2℃
调阻温度修正：计算机程序控制
--其它技术指标：
供电电压：220V AC
整机功耗：小于1000W
国内发展状况
2010年 三工光电发力解决了激光调阻机在研发当中遇到的各种难题，研发出具有国际先进水平的激光调阻设备，打破了国产精密电子行业依赖国外进口激光调阻设备的难题
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